[发明专利]一种太阳能扩散选择性发射极的制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池领域，特别涉及一种太阳能扩散选择性发射极的制备方法。本发明包含以下步骤：首先对硅片进行激光制绒处理；然后在制绒后的硅片表面电极栅线网状区域中印刷高浓度磷浆；再在充满POCL3的氛围中进行短时间扩散，先通3-5min的携源气体，关闭气源后再继续进行扩散；印刷磷浆的区域形成高参杂深扩散区，未印刷磷浆的区域形成低参杂浅扩散区，选择性发射极制成。在技术上，高掺杂区做电极时可较容易形成欧姆接触且体电阻小，从而减低串联电阻，提高填充因子FF，还可以减少复合，增加光生载流子的收集，从而提高Isc，在生产中，相对于现行工业化生产，由于在快速扩散中扩散时间短，总热耗少，也可进一步的降低工艺成本。

主权项

一种太阳能扩散选择性发射极的制备方法，包含以下步骤：首先对硅片进行激光制绒处理；然后在制绒后的硅片表面电极栅线网状区域中印刷高浓度磷浆；再在充满POCL3的氛围中进行短时间扩散，先通3‑5min的携源气体，关闭气源后再继续进行扩散；印刷磷浆的区域形成高参杂深扩散区，未印刷磷浆的区域形成低参杂浅扩散区，选择性发射极制成。