[发明专利]一种MOCVD气路压差控制系统

摘要

本发明公开了一种MOCVD气路压差控制系统，包括：主载气管道，主气路管道和旁路管道，特征是：在主气路管道的前端依次安装有主气路管道质量流量控制器和压力传感器，在旁路管道的最后端安装有一个压力控制器，在主气路管道上安装有六个四通切换阀，在旁路管道上安装有六个三通切换阀，每一个四通切换阀与相对应的三通切换阀通过相应的支管连接。这样就能在主气路管道有反应气体进入后，在压力传感器、PLC、压力控制器的共同作用下，旁路管道群殴压力随时跟随主气路管道压力变化，二者始终有一个压差跟随关系。这样反应气体能够顺利切入主气路管道并运送进反应室，非反应气体切入旁路管道准备，从而达到精确控制主气路和旁路之间气体的快速平稳切换。

主权项

一种MOCVD气路压差控制系统，包括：主载气管道，主气路管道和旁路管道，特征是主载气管道通入H₂或N₂或H₂、N₂混合的载气，主气路管道中通入的反应气体有五种有机源：三甲基镓、三乙基镓、三甲基铝、三甲基铟、p型掺杂剂二茂镁和n型掺杂剂硅烷：SiH₄；主载气管道、主气路管道和旁路管道的前端均安装有质量流量计（MFC），主载气管道、主气路管道的末端均装有常闭阀，在主气路管道的质量流量计后装有一个压力传感器（PT）,在压力传感器的后面依次安装有六个四通切换阀，在旁路管道上依次安装有六个三通切换阀，每个四通切换阀和对应的三通切换阀之间连接有支管道，SiH₄和五种有机源从各自源瓶中流出后分别与六个四通切换阀依次连接，可通过四通切换阀切入主气路管道，或可通过三通切换阀切入旁路管道；主载气管道的出气端通过主气路管道的常闭阀后的主载气管道三通接入主气路管道。