[发明专利]多色半导体激光器合束装置

摘要

本发明揭示了一种多色半导体激光器合束装置，包括多个相互并联的具有不同波长的半导体激光器；多个相互并联的光束偏振改良装置，所述光束偏振改良装置分别位于相对应的所述半导体激光器的输出光路上；一用于合束的合束镜组，所述合束镜组的输入端位于所述光束偏振改良装置的输出光路上，所述合束镜组的输出端与一补偿镜组在同一光路上。本发明提供了一种多色半导体激光器合束装置，能够有效地控制多色半导体激光器合束的噪声的增加量和保证合束后的光束的偏振性能，并且具有低成本、易组装调节、性能稳定等优点。

主权项

一种多色半导体激光器合束装置，其特征在于：包括多个相互并联的具有不同波长的半导体激光器；多个相互并联的光束偏振改良装置，所述光束偏振改良装置分别位于相对应的所述半导体激光器的输出光路上；一用于合束的合束镜组，所述合束镜组的输入端位于所述光束偏振改良装置的输出光路上，所述合束镜组的输出端与一补偿镜组在同一光路上；所述合束镜组包括全反镜和合束镜；所述全反镜和合束镜分别固定在基材上，所述基材为在‑50℃～100℃范围的平均线膨胀系数低于1.5×10‑6 ／℃的含镍36％的铁基低热膨胀合金或者铟钢材料；所述全反镜和合束镜固定在所述基材的在应用的温度范围内因温度变化而产生的形变最小方向上；包括相互并联的具有不同波长的第一半导体激光器、第二半导体激光器和第三半导体激光器；分别与所述第一半导体激光器、第二半导体激光器和第三半导体激光器相对应的第一光束偏振改良装置、第二光束偏振改良装置和第三光束偏振改良装置；所述合束镜组包括第一全反镜，第二全反镜，第一合束镜和第二合束镜；所述第一半导体激光器发出的第一激光光束通过第一光束偏振改良装置后，经第一全反镜反射后传输到第一合束镜，被第一合束镜反射后入射到所述补偿镜组，所述第二半导体激光器发出的第二激光光束通过第二光束偏振改良装置后，经第二全反镜反射后传输到第二合束镜，被第二合束镜反射后传输到第一合束镜，穿过第一合束镜后入射到所述补偿镜组，所述第三半导体激光器发出的第三激光光束通过第三光束偏振改良装置后，依次穿过第二合束镜和第一合束镜后入射到所述补偿镜组；入射所述补偿镜组的第一激光光束，第二激光光束和第三激光光束为非同心的，所述补偿镜组将第一激光光束，第二激光光束和第三激光光束的光路重合。