[发明专利]位置检测装置和传输系统在审
| 申请号： | 201310749750.4 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104748676A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 魏晓 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;B25J13/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种位置检测装置，所述位置检测装置包括检测光源、图像接收机构、控制器和支撑待测物体的载物台，所述检测光源的光能够照射在所述待测物体上，使得所述待测物体的边缘投影投射在所述图像接收机构上，且所述图像接收机构能够将所述待测物体的边缘的位置信息传递给所述控制器，其中，所述检测光源能够发出平行光，且所述平行光的传播方向垂直于所述待测物体的表面。本发明还提供一种包括所述位置检测装置的传输系统。在本发明中，所述检测光源能够发出平行光，使得所述待测物体的边缘在所述传感器上的投影位置不会因为光线强度而发生偏移，因而能够准确检测所述待测物体的位置以进行传输。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 装置 传输 系统 | ||
【主权项】：
一种位置检测装置，所述位置检测装置包括检测光源、图像接收机构、控制器和支撑待测物体的载物台，所述检测光源的光能够照射在所述待测物体上，使得所述待测物体的边缘投影投射在所述图像接收机构上，且所述图像接收机构能够将所述待测物体的边缘的位置信息传递给所述控制器，其特征在于，所述检测光源能够发出平行光，且所述平行光的传播方向垂直于所述待测物体的表面。
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