[发明专利]晶圆吹扫装置、系统及方法

摘要

本发明公开了一种晶圆吹扫装置、系统及方法，其中装置包括：包括输送装置、充气嘴、电控气动装置、控制器以及连通充气嘴和电控气动装置的气路；电控气动装置，用于在启动充气后，驱动输送装置到达预设工作位置处，使充气嘴和前开式晶圆盒的充气口对接，并向气路中提供吹扫气体；终止充气后，驱动输送装置到达预设非工作位置处。本发明提供的晶圆吹扫装置、系统及方法，通过将晶圆吹扫装置安装在现有设备装载部中，实现了在制程前或制程后对前开式晶圆盒里面晶圆灵活进行吹扫，可以手动控制，也可以自动控制，提高了生产效率和产品良率。

主权项

1.一种晶圆吹扫装置，用于在制程前或制程后对前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫，其特征在于，包括输送装置、充气嘴、电控气动装置、控制器以及连通所述充气嘴和所述电控气动装置的气路；所述气路上设置有压力表和调压阀；所述压力表为可反馈读值式压力表，所述压力表用于测量所述气路中的充气压力，并将所述气路中的当前充气压力信息反馈给所述控制器；所述调压阀，用于调节所述气路中的充气压力；所述充气嘴的一端用于和前开式晶圆盒的充气口对接，另一端通过弹性连接导向装置与所述输送装置连接，所述充气嘴用于利用所述气路中的吹扫气体对所述前开式晶圆盒中的晶圆进行吹扫；所述输送装置为可反馈输送位置式输送装置，所述输送装置用于输送所述充气嘴，并将当前输送位置信息反馈给所述控制器；所述电控气动装置，用于在启动充气后，驱动所述输送装置到达预设工作位置处，使所述充气嘴和所述前开式晶圆盒的充气口对接，并向所述气路中提供所述吹扫气体；终止充气后，驱动所述输送装置到达预设非工作位置处；所述控制器，用于控制所述电控气动装置驱动所述输送装置对所述充气嘴进行输送，并控制所述电控气动装置启动充气或终止充气。