[发明专利]腔室压力读取方法及设备有效
| 申请号： | 201310750473.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104746018B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 韩盼盼 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种腔室压力读取方法及设备，其中方法包括设置真空规保护阀，并使真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和腔室之间不导通；通过安装在腔室上的皮拉尼规检测腔室中的压力，当检测到腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，开启真空规保护阀，实时读取真空规的压力值并进行显示。本发明提供的腔室压力读取方法及设备，在准确读取腔室压力的基础上，充分发挥了皮拉尼规的作用，延长了真空规的使用寿命，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 读取 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种腔室压力读取方法，其特征在于，包括如下步骤：设置真空规保护阀，并使所述真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和所述腔室之间不导通；通过安装在所述腔室上的皮拉尼规检测所述腔室中的压力，当检测到所述腔室中的压力处于适合所述真空规工作的压力范围时，开启所述真空规保护阀，所述真空规实时读取所述腔室更精确的压力值并进行显示。
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