[发明专利]一种隔离窗固定结构以及腔室有效
| 申请号： | 201310750685.7 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104752264B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 邱国庆;武学伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种隔离窗固定结构，用于将所述隔离窗固定设置在腔室上方，所述隔离窗固定结构包括固定框，所述固定框包括按压部和固定部，所述固定部设置在所述按压部外沿，所述固定部用于固定在所述腔室的侧壁上，所述按压部用于设置在所述隔离窗上方以固定所述隔离窗。相应地，本发明还提供一种腔室。本发明能够避免隔离窗在竖直方向上移动发生碰撞后导致破裂，并且能够有效缓冲因腔室气压变化导致隔离窗所受的压力。同时，本发明还能够将隔离窗的热量传递至腔室侧壁后扩散，能够降低隔离窗的温度，进一步保护了隔离窗。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离窗 按压 固定结构 固定部 腔室 固定框 固定设置 腔室侧壁 腔室气压 热量传递 上移动 种腔室 侧壁 缓冲 竖直 外沿 破裂 扩散 | ||
【主权项】：
1.一种隔离窗固定结构，用于将所述隔离窗固定设置在腔室上方，其特征在于，所述隔离窗固定结构包括固定框，所述固定框包括按压部和固定部，所述固定部设置在所述按压部外沿，所述固定部用于固定在所述腔室的侧壁上，所述按压部用于设置在所述隔离窗上方以固定所述隔离窗，所述隔离窗固定结构还包括缓冲框，所述缓冲框设置在所述固定框的按压部的下表面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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