[发明专利]一种硅片研磨液的搅拌装置

摘要

本发明涉及一种新型硅片研磨液的搅拌装置包括搅拌叶、搅拌轴、搅拌桶、定时装置，转向装置，电机。由于所述搅拌装置设有定时装置和转向装置，从而可以控制搅拌时间和搅拌方向，使得搅拌更加的均匀，从而提高了研磨液的质量。所述搅拌桶下部设有过滤板，储液槽，所述储液槽位于过滤板的下部；所述搅拌桶底部设有出液口。所述过滤板用来过滤未充分搅拌剩下来的大的颗粒；所述储液槽，用来让搅拌充分完成的研磨液流向出液口，从而获取高质量的研磨液。

主权项

一种新型硅片研磨液的搅拌装置包括搅拌叶、搅拌轴、搅拌桶、定时装置，转向装置，电机，其中所述搅拌桶内设有搅拌轴，所述搅拌轴上设有两片搅拌叶，所述上部设有转向装置，转向装置上部有定时装置，定时装置上部设有电机；所述电机的转轴通过定时装置和转向装置的一端相连且设置于搅拌桶的上方；所述搅拌轴垂直设置在搅拌桶的中部，所述搅拌叶垂直固定在搅拌轴的下端，所述搅拌叶为螺旋搅拌叶。