[发明专利]多频匹配器及等离子体装置在审
| 申请号： | 201310751652.4 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104754851A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 师帅涛;陈鹏;张超 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多频匹配器及等离子体装置，多频匹配器包括相互并联的低频电路与高频电路，在所述低频电路上串联第一电感；在所述高频电路上串联第一电容；所述第一电感一端电连接到等离子反应腔，另一端电连接到低频电源；所述第一电容一端电连接到等离子反应腔，另一端电连接到高频电源。等离子体装置包括等离子反应腔、高频电源、低频电源与所述的多频匹配器；所述等离子反应腔的上电极和下电极分别电连接到所述多频匹配器的低频电路和高频电路；所述低频电路或所述高频电路分别电连接到所述低频电源和所述高频电源。通过以上设计，达到尺寸小、匹配范围较大，并且两个输入端口之间有较高的隔离度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 多频匹 配器 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种多频匹配器，包括相互并联的低频电路与高频电路，其特征在于，在所述低频电路上串联第一电感；在所述高频电路上串联第一电容；所述第一电感一端电连接到等离子反应腔，另一端电连接到低频电源；所述第一电容一端电连接到等离子反应腔，另一端电连接到高频电源。
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