[发明专利]静电卡盘电源的电流检测装置和电流检测方法在审
| 申请号： | 201310751989.5 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104749413A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 姜宏伟;陈庆;李玉站;白美林 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种静电卡盘电源的电流检测装置，包括采样电阻，所述采样电阻串联在所述静电卡盘电源的输出端，所述静电卡盘电源的电流检测装置还包括电压检测单元和两个分压单元，两个所述分压单元中的一个连接在所述采样电阻的输入端与参照点之间，两个所述分压单元中的另一个连接在所述采样电阻的输出端与参照点之间，所述电压检测单元用于检测两个分压单元的分压点与参照点之间的电压，其中，两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个分压单元的分压比相等。本发明还提供一种静电卡盘电源的电流检测方法。在本发明中，两个所述分压单元的分压比能够调节至相等，从而减少所述分压比的差异对检测电流的影响，提高检测电流的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 电源 电流 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种静电卡盘电源的电流检测装置，所述电流检测装置包括采样电阻，所述采样电阻串联在所述静电卡盘电源的输出端，所述静电卡盘电源的电流检测装置还包括电压检测单元和两个分压单元，两个所述分压单元中的一个连接在所述采样电阻的输入端与参照点之间，两个所述分压单元中的另一个连接在所述采样电阻的输出端与参照点之间，所述电压检测单元用于检测两个分压单元的分压点与参照点之间的电压，其特征在于，两个所述分压单元的分压比均能够调节，以使得两个所述分压单元的分压比相等。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310751989.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能高压验电器
- 下一篇：漏电保护装置的采样系统
