[发明专利]一种空气声质点振速传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201310752209.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103663353A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 赵龙江;冯杰;侍艳华;程进;冯晖;周瑜 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 曹雄 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种空气声质点振速传感器及其制造方法，该制造方法包括：⑴依次在硅衬底上沉积结合层和承载层，⑵依次涂胶，光刻和显影，⑶依次溅射粘附层，溅射敏感层和剥离胶，⑷依次第二次涂胶，第二次光刻和第二次显影，⑸依次反应离子刻蚀和除胶，⑹依次退火、划片和腐蚀。经上述制造过程得到包括成形一体的一对薄丝、第一电极、第二电极和第三电极，以及硅衬底的空气声质点振速传感器。本发明实现了对空气声质点振速的直接测量，其产品具有体积小、重量轻、成本低、一致性好和性能稳定的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空气 质点 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种空气声质点振速传感器，包括敏感元件，其特征在于，所述敏感元件为桥式结构，其包括： 硅衬底，其上形成一桥孔；和 一对薄丝，平行置于所述桥孔上； 所述硅衬底上，所述桥孔的一侧形成第一电极，所述桥孔的另一侧并列形成第二电极和第三电极；一对所述薄丝的一端共同连接所述第一电极，另一端分别连接所述第二电极和所述第三电极； 所述薄丝、所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极一体成形，其由下至上依次由结合层、承载层、粘附层和敏感层组成。
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