[发明专利]一种纤维磁控溅射连续镀金属导电功能薄膜的装置和方法

摘要

一种纤维磁控溅射连续镀金属导电功能薄膜的装置和方法属于真空镀膜领域。将纤维丝线缠绕在放卷装置上，然后放入真空室内进行走丝，由放卷装置放出的纤维丝线多次且平行的通过等离子体清洗装置进行清洗、粗化，清洗后的纤维丝线多次且平行的通过等离子体辅助镀膜装置和矩形磁控溅射靶进行镀膜，完成镀膜的纤维丝线收于收卷装置完成镀膜。等离子体清洗装置进行清洗和表面粗化时所通气体为氧气和氩气混合气体，分解纤维上面的油性物质，同时对纤维表面进行粗化处理以增加薄膜的附着力。等离子体辅助装置的作用是通过离子轰击增强薄膜的附着力。本发明解决了现有技术的污染，运行成本高，附着力差等缺点，具有镀层均匀，无杂质，附着力高等优点。

主权项

一种纤维磁控溅射连续镀金属导电功能薄膜的装置，其特征在于： 在磁控溅射镀膜真空腔室内设有卷绕装置：包括磁控溅射靶、放卷装置、导向装置A、导向装置B、导向装置C、导向装置D、收卷装置和等离子体预清洗装置、等离子体辅助镀膜装置、张力控制器、同轴固定法兰、从动齿轮、主动齿轮、屏蔽板、纤维变位装置；真空室外部设有驱动系统：包括伺服电机、磁粉离合器；放卷装置、导向装置A、导向装置B、导向装置C、导向装置D、收卷装置安装于5个旋转杆上面，旋转杆安装在6个均布从动齿轮中的5个齿轮上，其中放卷装置与导向装置A安装在同一选装转杆上，导向装置A在放卷装置上方；导向装置B、导向装置C、导向装置D、收卷装置分别位于一个旋转杆上面，导向装置C、导向装置D所在的齿轮之间空出1个齿轮；6个从动齿轮通过同一个主动传动齿轮带动；同轴固定法兰固定于真空室上方，分别与放卷装置、导向装置A、导向装置B、导向装置C、导向装置D、收卷装置的旋转杆连接，连接处装有耐磨铜套；磁粉离合器安装在电机和主动传动齿轮的传动轴之间；放卷装置和导向装置B之间安装有张力控制器，通过张力控制器所检测的张力大小值反馈来调节磁粉离合器，从而调节主动传动齿轮的转速；纤维变位装置安装在在导向装置D和收卷装置之间，对收卷的纤维进行上下往复变位；，纤维变位装置由步进电机、滑动丝杠和纤维变位杆组成，在100mm范围内往复运动，控制纤维丝线在收卷装置上均匀缠绕，在卷绕装置周围设有等离子体预清洗装置、等离子体辅助镀膜装置、矩形磁控溅射靶。