[发明专利]用于半导体制造工艺中的硅片定位系统

摘要

本发明公开了一种用于半导体制造工艺中的硅片定位系统，包括工作平台，所述工作平台内设用于搬运硅片的真空机械手，所述真空机械手手臂中央设有用于顶升硅片的圆孔，在工艺平台上设有至少一个硅片定位装置，所述硅片定位装置用于探测并调整真空机械手取片后硅片中心位置与真空机械手手臂中央位置。本发明通过将多个硅片位置定位装置设在工艺平台上，与多个机械手的机台相配套，可有效节约有限空间，减少占地面积，有利于节约资源，免去了从硅片定位腔室上送取硅片的步骤，简化工序，提高了硅片传输效率。

主权项

一种用于半导体制造工艺中的硅片定位系统，包括工作平台，所述工作平台内设用于搬运硅片的真空机械手，其特征在于，所述真空机械手手臂中央设有用于顶升硅片的圆孔，在工艺平台上设有至少一个硅片定位装置，所述硅片定位装置用于探测并调整真空机械手取片后硅片中心位置与真空机械手手臂中央位置，其中，所述硅片定位装置包括发射单元、位置测量单位、顶升旋转装置；所述发射单元用于发出光束照射硅片上并投射至位置测量单元；所述位置测量单元用于探测真空机械手取片后硅片中心位置与真空机械手手臂中央位置；所述顶升旋转装置通过真空机械手手臂中央的圆孔将硅片向上顶升旋转。