[发明专利]MEMS麦克风

摘要

本发明提供了一种MEMS麦克风，包括基底以及设于基底上的电容系统，电容系统包括振膜以及分别设置在振膜两侧的第一背板和第二背板。振膜分别与第一背板以及第二背板形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，该MEMS麦克风还包括分别位于第一绝缘间隙和第二绝缘间隙内的第一绝缘支撑件和第二绝缘支撑件。第一绝缘支撑件在沿第一背板指向第二背板方向上的长度为第一绝缘间隙在同方向上的宽度的1/3至2/3；第二绝缘支撑件在沿第一背板指向第二背板方向上的长度为第二绝缘间隙在同方向上的宽度的1/3至2/3。第一绝缘支撑件和第二绝缘支撑件能够起到限制振膜振幅的作用，因此能够防止MEMS麦克风在高声压工作状态下，振膜出现的损坏。

主权项

一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括振膜以及与所述振膜相对且分别设置在所述振膜两侧的第一背板和第二背板，所述第一背板与所述振膜以及第二背板与所述振膜分隔一定距离并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，其特征在于：该MEMS麦克风还包括分别位于所述第一绝缘间隙和第二绝缘间隙内的第一绝缘支撑件和第二绝缘支撑件，所述第一绝缘支撑件与所述第一背板或振膜相连，所述第二绝缘支撑件与所述第二背板或振膜相连；所述第一绝缘支撑件在沿所述第一背板指向所述第二背板方向上的长度为所述第一绝缘间隙在同方向上的宽度的1/3至2/3；所述第二绝缘支撑件在沿所述第一背板指向所述第二背板方向上的长度为所述第二绝缘间隙在同方向上的宽度的1/3至2/3。