[发明专利]抽真空系统气体抽除速度测量装置及其方法的应用有效
| 申请号： | 201310754775.3 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103743442A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 吴标平;谭国棠;胡双丽;丘福生 | 申请（专利权）人： | 中山凯旋真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/34 | 分类号： | G01F1/34 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄 |
| 地址： | 528478 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抽真空系统气体抽除速度测量装置，抽真空系统包括真空机组、抽真空管道和阀门，抽真空速度标定系统包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，真空传感器和定流量进气装置均连通设置在抽真空管道上，控制装置以电气测控形式连接定流量进气装置和真空传感器，控制装置控制定流量进气装置动作、采集定流量进气装置和真空传感器的数据信息并进行计算和存储，确定真空传感器测得的真空度的数值与定流量进气装置的气体流量数值的关系。本发明还公开了一种抽真空系统气体抽除速度测量方法、及一种真空干燥处理物出水率测量方法。上述系统和方法中均能够在较高真空度下确定真空度与气体流量之间的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 气体 速度 测量 装置 及其 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种抽真空系统气体抽除速度测量装置，用于抽真空系统抽真空的抽气速度测量，所述抽真空系统包括真空机组、抽真空管道和阀门，其特征在于，所述抽真空速度标定系统包括真空传感器、定流量进气装置和控制装置，所述真空传感器和所述定流量进气装置均连通设置在所述抽真空管道上，所述控制装置以电气测控形式连接所述定流量进气装置和所述真空传感器，所述控制装置控制所述定流量进气装置动作、采集所述定流量进气装置和所述真空传感器的数据信息并进行计算和存储，确定所述真空传感器测得的真空度的数值与所述定流量进气装置的气体流量数值的关系。
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