[发明专利]一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及原子层沉积技术领域，具体涉及一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括如下步骤向原子层沉积设备的反应腔室中交替通入含锌前驱体和含氧前驱体，形成ZnO原子层沉积薄膜；向所述反应腔室中依次通入所述含锌前驱体、含铝前驱体、含氧前驱体进行反应，形成Al掺杂层；重复上述步骤，得到AZO薄膜。本发明在沉积过程中引入更多的Al循环，并通过Al原子置换Zn原子，可以弥散分布于ZnO基体中，从而减少了改为AlOx团簇的产生，使AZO薄膜的载流子迁移率与载流子密度都有所提高，最终降低其电阻率，从而提高AZO薄膜的电学性能。

主权项

一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤（1），向原子层沉积设备的反应腔室中通入含锌前驱体，与衬底发生化学吸附；步骤（2），向所述反应腔室中通入含氧前驱体，使所述衬底吸附的含锌前驱体与所述含氧前驱体发生反应，形成一层ZnO原子层沉积薄膜；步骤（3），循环所述步骤（1）和（2）n次，得到所需厚度的ZnO薄膜；步骤（4），向所述反应腔室中通入所述含锌前驱体，与所述ZnO薄膜发生化学吸附；步骤（5），向所述反应腔室中通入含铝前驱体，使所述含铝前驱体取代所述ZnO薄膜表面吸附的部分含锌前驱体，形成弥散分布的Al掺杂结构；步骤（6），向所述反应腔室中通入所述含氧前驱体，所述含氧前驱体与所述ZnO薄膜表面的含锌前驱体和含铝前驱体发生反应形成掺杂层；步骤（7），循环所述步骤（1）?（6）m次，得到所需厚度的AZO薄膜。