[发明专利]一种BOE蚀刻液组合物无效
| 申请号： | 201310755319.0 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103756681A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 王海;田志扬;潘绍忠;张晓东;张学良;傅明星;王瑞 | 申请（专利权）人： | 浙江凯圣氟化学有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 施少锋 |
| 地址： | 324004 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种BOE蚀刻液组合物。包括浓度为0.5-30wt％的氢氟酸（HF），浓度为1-40wt％的氟化铵（NH4F）和水，所述组合物还含有添加剂，所述添加剂为脂肪族有机酸（C2-C12）、脂肪族有机碱（C2-C12）、脂肪族有机醇（C2-C12）中的一种或其混合物，BOE蚀刻液组合物还进一步含有烷基硫酸铵盐阴离子表面活性剂。相对传统的湿法蚀刻组合物，本发明所述BOE蚀刻液对二氧化硅具有较高的蚀刻选择性，可高速蚀刻二氧化硅，并且BOE蚀刻液对硅片具有低接触角，可明显改善BOE蚀刻液对硅片蚀刻层的润湿和蚀刻均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 boe 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种BOE蚀刻液组合物，包括氢氟酸（HF），氟化铵（NH4F）和水，其特征在于：所述组合物还含有添加剂，所述添加剂为脂肪族有机酸（C2‑C12）、脂肪族有机碱（C2‑C12）、脂肪族有机醇（C2‑C12）中的一种或其混合物。
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