[发明专利]掩膜板和光掩膜

摘要

本发明提供一种能够制造光掩膜的掩膜板，该光掩膜具有有效防止静电击穿的结构。为了实现上述目的，本发明公开了一种掩膜板，其包括掩膜基底、完全覆盖该掩膜基底一面的静电击穿保护膜和形成在该静电击穿保护膜上的遮光膜。该静电击穿保护膜由钛、钽、钛化合物或钽化合物构成。对于曝光波长该静电击穿保护膜的透光率不小于75％。该静电放电保护膜的方块电阻不大于100KΩ／□。

主权项

一种掩膜板包括掩膜基底，完全覆盖该掩膜基底一面的静电击穿保护膜，形成在该静电击穿保护膜上的遮光膜，其中所述静电击穿保护膜由钛或钛钽制成，对于曝光波长所述静电击穿保护膜的透光率不小于75％，并且所述静电击穿保护膜的方块电阻不大于100KΩ／□。