[发明专利]具PN界面的微机电装置在审
| 申请号： | 201310756460.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104748748A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 苏中源;郭秦辅;陈志远;黄肇达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01C21/16 | 分类号： | G01C21/16;G01P15/125;G01R33/06;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种具PN界面的微机电装置。此种微机电装置包括可动质量块、导电层以及电极。可动质量块包含P型半导体层与N型半导体层。PN界面形成于P型半导体层与N型半导体层的连接面。当交流电流通过导电层时，此微机电装置可避免输出异常的电压信号。此微机电装置适用于感测加速度及磁力，也可以是一种微机电扫描镜。 | ||
| 搜索关键词： | pn 界面 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种微机电装置，包括：基板，包含电极，设置于该基板的上表面，可动质量块，设置于该电极上方，包含：第一P型半导体层；第一N型半导体层，连接该第一P型半导体层；第一PN界面，形成于该第一P型半导体层与该第一N型半导体层的连接面；第一导电层；以及第一绝缘层，设置于可动质量块与第一导电层之间。
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