[发明专利]微机电系统谐振传感器及其控制方法

摘要

微机电系统(MEMS)谐振传感器包括：MEMS单元，其产生与质量体的振动分量相应的输出信号，该质量体可在第一驱动电极与第二驱动电极之间振动；自动增益控制(AGC)单元，其通过控制输出信号的增益来自动产生比较电压；以及偏置单元，其接收参考电压，并使用比较电压和参考电压产生偏置电压，其中将正弦驱动电压施加到第一驱动电极和第二驱动电极，且将偏置电压施加到质量体。这可以在MEMS谐振传感器中稳定保持质量体的振幅，并且通过减少MEMS谐振传感器的响应误差来防止电子电路的故障。

主权项

一种微机电系统(MEMS)谐振传感器，包括：MEMS单元，其产生与质量体的振动分量相应的输出信号，所述质量体能够在第一驱动电极与第二驱动电极之间振动；自动增益控制(AGC)单元，其通过自动控制所述MEMS单元的输出信号的增益来产生比较电压；以及偏置单元，其接收所述比较电压和参考电压，并使用所述比较电压和所述参考电压来产生偏置电压，其中将正弦驱动电压施加到所述第一驱动电极和所述第二驱动电极，且将所述偏置电压施加到所述质量体。