[发明专利]微机电系统谐振传感器及其控制方法在审
申请号: | 201310756907.6 | 申请日: | 2013-12-13 |
公开(公告)号: | CN104236596A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 权纯明;朴相奎 | 申请(专利权)人: | 现代自动车株式会社 |
主分类号: | G01D5/244 | 分类号: | G01D5/244;G01D5/248;G01D5/14 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 微机电系统(MEMS)谐振传感器包括:MEMS单元,其产生与质量体的振动分量相应的输出信号,该质量体可在第一驱动电极与第二驱动电极之间振动;自动增益控制(AGC)单元,其通过控制输出信号的增益来自动产生比较电压;以及偏置单元,其接收参考电压,并使用比较电压和参考电压产生偏置电压,其中将正弦驱动电压施加到第一驱动电极和第二驱动电极,且将偏置电压施加到质量体。这可以在MEMS谐振传感器中稳定保持质量体的振幅,并且通过减少MEMS谐振传感器的响应误差来防止电子电路的故障。 | ||
搜索关键词: | 微机 系统 谐振 传感器 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种微机电系统(MEMS)谐振传感器,包括:MEMS单元,其产生与质量体的振动分量相应的输出信号,所述质量体能够在第一驱动电极与第二驱动电极之间振动;自动增益控制(AGC)单元,其通过自动控制所述MEMS单元的输出信号的增益来产生比较电压;以及偏置单元,其接收所述比较电压和参考电压,并使用所述比较电压和所述参考电压来产生偏置电压,其中将正弦驱动电压施加到所述第一驱动电极和所述第二驱动电极,且将所述偏置电压施加到所述质量体。
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