[发明专利]具有移动转盘的等离子体产生装置及其使用方法无效
| 申请号： | 201310757076.4 | 申请日： | 2013-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103874315A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 格里高利·迪拉吉 | 申请（专利权）人： | 格里高利·迪拉吉 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H05H1/24;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 美国内*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明一个可能的实施例是等离子体反应腔室和操作其的方法，其中所述等离子体反应腔室包括一组腔室壁和当关闭时气密密封所述等离子体反应腔室的门；一个或多个RF电极，至少一个RF电极为功率RF电极；以及移动一个或多个样品靠近所述一个或多个RF电极的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 移动 转盘 等离子体 产生 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种等离子体反应腔室，包括：(a)一组腔室壁和一个当关闭时气密密封等离子体反应腔室的门；(b)一个或多个RF电极，至少一个RF电极为功率RF电极；以及(c)移动一个或多个样品靠近所述一个或多个RF电极的结构。
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