[发明专利]一种图案化研磨板的方法以及图案化的研磨板在审
| 申请号： | 201310757298.6 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103862362A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | R·L·穆德里;J·W·赫恩 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;G11B5/127 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 邢德杰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开一种图案化研磨板的方法以及图案化的研磨板。一种形成图案化研磨板的方法通过提供具有包含多个凸齿的图案的操作工具，每个凸齿具有基座、至少一个侧壁、以及终端，并且用工具图案化该研磨板以在研磨板的工作面中提供具有工具表面相反图案的工作面，图案化处理塑性地使该研磨板的工作面变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 研磨 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种图案化研磨板的方法，包括：提供具有包含多个凸齿的图案的操作工具，每个凸齿具有基座、至少一个侧壁、以及终端；以及用工具图案化研磨板以在研磨板的工作面中提供具有工具表面相反图案的工作面，图案化处理塑性地使研磨板的工作面变形。
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