[实用新型]一种可以增大产能的新型石英舟

摘要

一种可以增大产能的新型石英舟，包括舟架，所述舟架顶部对称设置有侧挡杆，舟架内壁底部设置有底部挡杆，挡杆上均设置有放置硅片的齿槽，各齿槽的宽度和间隔均相等。本实用新型具有结构紧凑、简单易用、方便可靠的特点，当待扩散的硅片放入石英舟进行高温扩散时，舟架顶部的侧挡杆会有效的阻挡硅片在高温下的横向形变，而减少槽齿间距可以在石英舟上放置更多的硅片，提高产能的同时保证扩散气体在硅片之间的填充效果，保证硅片表面扩散的均匀性。本实用新型降低了硅片高温扩散不均匀的风险，增加量产能，降低了成本，具有很好的推广和应用价值。

主权项

一种可以增大产能的新型石英舟，包括舟架，其特征是所述舟架顶部对称设置有侧挡杆，舟架内壁底部设置有底部挡杆，挡杆上均设置有放置硅片的齿槽，各齿槽的宽度和间隔均相等。