[实用新型]IGBT背面集电极结构有效
申请号: | 201320013251.4 | 申请日: | 2013-01-10 |
公开(公告)号: | CN203013730U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 陈宏;朱阳军;卢烁今;吴凯 | 申请(专利权)人: | 江苏物联网研究发展中心;中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/417 | 分类号: | H01L29/417 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种IGBT背面集电极结构,包括N-型基区,还包括在N-型基区的背面形成的N+型缓冲层和P+型集电极层,所述N+型缓冲层的表面包括阵列式的岛状凸起部以及岛状凸起部之间的凹下部;P+型集电极层位于N+型缓冲层的岛状凸起部以及岛状凸起部之间的凹下部的表层。所述N+型缓冲层的阵列式的岛状凸起部和岛状凸起部之间的凹下部的面积比例能够根据IGBT器件的需要而调节设定。本实用新型用于改善场截止型IGBT的性能。 | ||
搜索关键词: | igbt 背面 集电极 结构 | ||
【主权项】:
一种IGBT背面集电极结构,包括N‑型基区(5),其特征在于:还包括在N‑型基区(5)的背面形成的N+型缓冲层(6)和P+型集电极层(7),所述N+型缓冲层(6)的表面包括阵列式的岛状凸起部以及岛状凸起部之间的凹下部;P+型集电极层(7)位于N+型缓冲层(6)的岛状凸起部以及岛状凸起部之间的凹下部的表层。
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