[实用新型]一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器有效
申请号: | 201320018486.2 | 申请日: | 2013-01-14 |
公开(公告)号: | CN203096234U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | 赵梅玉;高宇;段聪;邓树军;陶莹 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B35/00;F27D21/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 102206 北京市昌*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器,包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧,所述法兰盘垂直安装在所述真空管道的下端,所述泄压盲板上设置有通孔,所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方;所述导杆穿过所述泄压盲板上的通孔与所述法兰盘固定连接;所述法兰盘与所述泄压盲板之间通过O型密封圈密封;所述压缩弹簧套设在所述导杆上。该结构将自动的、持续的防治因炉内压力过高产生的不稳定状态,并且密封性好,磨损小,结构简单,可长期重复使用。整个过程无需人工操作,自动完成。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 单晶炉 真空 管道 防爆 | ||
【主权项】:
一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器,其特征在于,包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧,所述法兰盘垂直安装在所述碳化硅单晶炉真空管道的下端,所述泄压盲板上设置有通孔,所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方;所述导杆上端穿过所述泄压盲板上的通孔与所述法兰盘螺纹连接;所述法兰盘与所述泄压盲板之间通过O型密封圈密封;所述压缩弹簧套设在所述导杆上;所述导杆下端安装在基座上。
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