[实用新型]功率半导体器件串并联检测设备

摘要

本实用新型的名称为功率半导体器件串并联检测设备。属于功率半导体器件应用技术领域。它主要是解决现有根据器件参数和经验选配不反映器件真实特性的问题。它的主要特征是：包括主机、夹具和计算机控制单元；主机包括阻断测试单元、正向电压测试单元、开通特性测试单元、恢复特性测试单元、门极特性测试单元；夹具包括第一夹头、旋转臂和第二夹头；计算机控制单元包括计算机芯片及其外围电路，第一夹头加压控制电路、旋转臂旋转控制电路和第二夹头加压控制电路。本实用新型具有可提高工作效率，并真实检测出器件串并联特性一致性的，主要应用于功率半导体器件高电压或大电流的应用领域中多只功率半导体器件的串联和并联配组。

主权项

一种功率半导体器件串并联检测设备，包括测试主机（1）、测试夹具（2）和计算机控制单元（3）；其中，测试主机（1）包括阻断测试单元、正向电压测试单元、开通特性测试单元、恢复特性测试单元、门极特性测试单元；阻断测试单元由阻断测试主回路、阻断检测取样单元组成；正向电压测试单元由正向电压测试主回路、正向电压检测取样单元组成；开通特性测试单元由开通特性测试主回路、开通检测取样单元组成；恢复特性测试单元由恢复特性测试主回路、恢复检测取样单元组成；门极特性测试单元由门极特性测试主回路、门极检测取样单元组成；计算机控制单元包括计算机芯片及其外围电路，并与测试主机电连接；其特征是：所述测试夹具（2）包括第一夹头、旋转臂（6）和第二夹头；第一夹头由加热系统（11）、第一上夹头（4）、第一下夹头（9）、第一气缸（7）、第一控制系统组成；旋转臂（6）由传动系统、机械臂组成；第二夹头由水冷系统（12）、第二上夹头（5）、第二下夹头（10）、第二气缸（8）、第二控制系统组成；计算机控制单元（3）还包括第一夹头加压控制电路、旋转臂旋转控制电路和第二夹头加压控制电路；第一夹头加压控制电路由加压控制电路、压力反馈电路、夹头上升控制系统组成；旋转臂旋转控制电路由机械臂上升下降控制系统、机械臂横向移动控制系统组成；第二夹头加压控制电路由加压控制电路、压力反馈电路、夹头上升控制系统组成。