[实用新型]研磨装置有效

专利信息
申请号: 201320023006.1 申请日: 2013-01-16
公开(公告)号: CN203045500U 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 前田将克 申请(专利权)人: 苏州住友电木有限公司
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B37/34
代理公司: 上海市华诚律师事务所 31210 代理人: 梅高强;刘煜
地址: 215021 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种研磨装置,具有:研磨部件(9),具有研磨被研磨物(4)的平坦研磨面(10);保持部(2),所述保持部(2)具有朝所述研磨面(10)且向下开口的收容部(6),所述收容部(6)中,在保持所述被研磨物(4)的同时通过自重将所述被研磨物(4)按压到所述研磨面(10);以及移动机构(3),通过使所述保持部(2)和所述研磨部件(9)在所述研磨面(10)的面方向上相对移动使所述研磨部件(9)研磨所述被研磨物(4)。根据本实用新型的研磨装置,能够抑制被研磨物的研磨量的误差。
搜索关键词: 研磨 装置
【主权项】:
一种研磨装置,其特征在于,具有:研磨部件,该研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面;保持部,该保持部具有朝着所述研磨面向下开口的收容部,该保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通过自重将所述被研磨物按压到所述研磨面;以及移动机构,该移动机构通过使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相对移动而使所述研磨部件研磨所述被研磨物。
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