[实用新型]静电吸附装置

摘要

本实用新型公开一种静电吸附装置，包括静电吸附丝、缠绕静电吸附丝的丝盘组件，丝盘组件包括绝缘盒，静电吸附丝置于绝缘盒内，其中，静电吸附装置还包括连接在绝缘盒外壁的护管伸缩组件，护管伸缩组件包括：套管头，连接在绝缘盒上，套管头包括滑键；齿轮齿条组件，连接在套管头上；以及护管，连接在齿轮齿条组件上；其中，静电吸附丝从护管中导出，齿轮齿条组件在滑键上滑动并带动护管伸缩。本实用新型的静电吸附装置具有护管伸缩组件，通过齿轮齿条件在线调节护管伸出长度，确保片材边部整齐又不过厚。

主权项

一种静电吸附装置，包括静电吸附丝、缠绕所述静电吸附丝的丝盘组件，所述丝盘组件包括绝缘盒，所述静电吸附丝置于所述绝缘盒内，其特征在于，所述静电吸附装置还包括连接在所述绝缘盒外壁的护管伸缩组件，所述护管伸缩组件包括： 套管头，连接在所述绝缘盒上，所述套管头包括滑键； 齿轮齿条组件，连接在所述套管头上；以及 护管，连接在所述齿轮齿条组件上； 其中，所述静电吸附丝从所述护管中导出，所述齿轮齿条组件在所述滑键上滑动并带动所述护管伸缩。