[实用新型]磷扩散炉抽风管缓冲箱有效
申请号: | 201320026367.1 | 申请日: | 2013-01-17 |
公开(公告)号: | CN203007490U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 陈功 | 申请(专利权)人: | 陈功 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人: | 胡根良 |
地址: | 313100 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种磷扩散炉抽风管缓冲箱,包括方形的缓冲箱体,所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,所述密封门右侧与缓冲箱体铰接,所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构,所述密封门上设有导流结构,所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。本实用新型的缓冲箱密封门上设有导流结构引导空气进入,因而,可以利用自然空气冷却扩散炉管中排除的尾气,防止熔化抽风管的特氟龙涂层。从而降低了抽风系统的腐蚀速度,避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。 | ||
搜索关键词: | 扩散 抽风 缓冲 | ||
【主权项】:
磷扩散炉抽风管缓冲箱,其特征在于:包括方形的缓冲箱体,所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口,所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门,所述密封门右侧与缓冲箱体铰接,所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构,所述密封门上设有导流结构,所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。
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