[实用新型]一种制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统有效
| 申请号： | 201320028671.X | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN203012351U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 沈少鑫;任雪畅;刘守 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/32 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统，涉及光子晶体阵列结构。提供一种结构简单、可操作性强、可获得三维密排晶体阵列结构的制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统。从左至右依次设有激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板；所述激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板设于同一光轴上，激光器发出的激光经过空间滤波器的扩束后照射到全息光学元件上，经全息光学元件产生4束相干的干涉光束，1/2波片置于全息光学元件的中央出光口之后，4束光重叠干涉在光刻胶板上，在光刻胶板上对4束光重叠的干涉结构进行单次曝光，经过显影的流程即可得到拥有三维密排晶格阵列结构的光子晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 三维 光子 晶体 阵列 结构 全息 系统 | ||
【主权项】：
一种制造三维密排光子晶体阵列结构的全息系统，其特征在于从左至右依次设有激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板；所述激光器、空间滤波器、全息光学元件、1/2波片和光刻胶板设于同一光轴上，激光器发出的激光经过空间滤波器的扩束后照射到全息光学元件上，经全息光学元件产生4束相干的干涉光束，1/2波片置于全息光学元件的中央出光口之后，4束光重叠干涉在光刻胶板上，在光刻胶板上对4束光重叠的干涉结构进行单次曝光，经过显影的流程即可得到拥有三维密排晶格阵列结构的光子晶体。
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