[实用新型]显微球面光谱分析仪光路

摘要

本实用新型公开了一种显微球面光谱分析仪光路，包括光源、入射光路和反射光路，入射光路包括从左到右依次排列、中心线与光源在同一直线上的第一平行光镜片、汇聚光镜片、第二平行光镜片和平面镜，反射光路包括与入射光路在同一直线上与中心线成45°的反射镜、设于反射镜上方的滤光镜和分光棱镜，入射光路能将光源的光作用在待测镜片，反射光路将待测镜片需要检测之外的光过滤。本实用新型公开的光路具有能够快速找到待测镜片的焦点，方便检测仪器对待测镜片的检测，提高检测精度的特点。

主权项

显微球面光谱分析仪光路，其特征在于，包括光源、入射光路和反射光路，所述入射光路包括从左到右依次排列、中心线与光源在同一直线上的第一平行光镜片、汇聚光镜片、第二平行光镜片和平面镜，所述入射光路各镜片的中心厚度依次为5.1mm、6.002mm、5.23mm、1mm，所述入射光路各镜片之间的距离依次为10mm、110.438mm、21.115mm，所述第一平行光镜片与光源的距离为28.4mm，所述第一平行光镜片包括材质为H—ZF50的第一镜片和与其配合的材质为H—K9L的第二镜片，所述汇聚光镜片包括材质为S—NBM51的第三镜片和与其配合材质为S—TIH23的第四镜片，所述第二平行光镜片包括材质为S—TIM25的第五镜片和与其配合的材质为S—BSL7的第六镜片，所述第一镜片的左侧镜面向光源一侧凸起半径为26.518mm、右侧镜面向光源一侧凸起半径为8.803mm，所述第二镜片的左侧镜面向光源一侧凸起半径为8.803mm、右侧镜面向光源一侧呈凹形半径为20.326mm，所述第三镜片的左侧镜面向光源一侧凸起半径为10.038mm、右侧镜面向光源一侧呈凹形半径为8.803mm，所述第四镜片的左侧镜面向光源呈凹形半径为8.803mm、右侧镜面向光源呈凹形半径为37.738mm，所述第五镜片的左侧镜面向光源一侧凸起半径为126.338mm、右侧镜面向光源一侧凸起半径为43.397mm，所述第六镜片的左侧镜面向光源一侧凸起半径为43.397mm、右侧镜面向光源呈凹形半径为61.945mm。