[实用新型]光纤阵列定位组件

摘要

本实用新型公开了一种光纤阵列定位组件，包括基板，基板包括前后两个区域，前端区域为裸光纤定位固定区域，含有均匀分布的U形槽，相邻的两个U形槽之间由宽度均匀相等的脊背间隔，脊背的宽度在10-18um之间，U形槽的侧壁与基板上表面的交接处为脊背的棱，U形槽的侧壁与基板上表面垂直；后端区域为整体往下凹陷的平台阶，用来固定带塑料包层光纤，所述平台阶距离基板上表面的凹陷深度为200-350um，平台阶与前端U形槽区域紧密连接，之间无任何隔断。本实用新型只采用多晶硅薄膜作为单一掩膜层，大大减少了整个工艺流程步骤，缩短了生产周期，且各道工艺都与集成电路工艺兼容，可进行大批量生产，生产成本低、周期短。

主权项

一种光纤阵列定位组件，包括基板（1），其特征在于：所述基板（1）包括前后两个区域，前端区域（2）为裸光纤定位固定区域，含有均匀分布的U形槽（7），相邻的两个U形槽（7）之间由宽度均匀相等的脊背（8）间隔，脊背（8）的宽度在10‑18um之间，U形槽（7）的侧壁与基板上表面的交接处为脊背的棱，U形槽（7）的侧壁与基板上表面垂直；后端区域（3）为整体往下凹陷的平台阶，用来固定带塑料包层光纤，所述平台阶距离基板上表面的凹陷深度为200‑350um，平台阶与前端U形槽区域紧密连接，之间无任何隔断。