[实用新型]一种刻蚀辅助装置有效
申请号: | 201320035865.2 | 申请日: | 2013-01-23 |
公开(公告)号: | CN203079843U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 郭隐彪;胡陈林;郭龙 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人: | 马应森;刘勇 |
地址: | 361005 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 一种刻蚀辅助装置,涉及一种光学材料加工设备。提供采用化学刻蚀方法测定元件亚表面缺陷深度时,能有效避免因溶液浓度不均匀、反应吸放热、反应产生络合物等因素造成测量误差的一种刻蚀辅助装置。包括支架、恒温锅、微型电机、可升缩挂杆、提篮、伸缩管、密封盖、烧杯和加热件;所述恒温锅设于支架下部,微型电机设于支架上部,可升缩挂杆上端与微型电机输出轴连接,可升缩挂杆下端挂住提篮,伸缩管上端与所述上横梁连接,伸缩管下端与密封盖连接,密封盖封盖住烧杯口并夹持住烧杯,所述可升缩挂杆位于伸缩管中,所述提篮位于烧杯内,加热件位于恒温锅底部。所述支架设有底座、立柱和横梁。 | ||
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【主权项】:
一种刻蚀辅助装置,其特征在于包括支架、恒温锅、微型电机、可升缩挂杆、提篮、伸缩管、密封盖、烧杯和加热件;所述恒温锅设于支架下部,微型电机设于支架上部,可升缩挂杆上端与微型电机输出轴连接,可升缩挂杆下端挂住提篮,伸缩管上端与所述上横梁连接,伸缩管下端与密封盖连接,密封盖封盖住烧杯口并夹持住烧杯,所述可升缩挂杆位于伸缩管中,所述提篮位于烧杯内,加热件位于恒温锅底部。
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