[实用新型]研磨机工作台有效
申请号: | 201320039878.7 | 申请日: | 2013-01-25 |
公开(公告)号: | CN203156504U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 王俊明;刘先强;薄昌盛;冯增顺;王新营 | 申请(专利权)人: | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭集团有限公司 |
主分类号: | B24B9/10 | 分类号: | B24B9/10 |
代理公司: | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人: | 张春;李想 |
地址: | 450016 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种研磨机工作台,包括位于工作台两侧的台条,在所述的台条上粘贴导电台布,在两侧的台条之间设置至少三个支撑板,支撑板顶端为圆弧状,且支撑板顶部也粘贴导电台布。采用上述技术方案的本实用新型,具有以下优点:1、减少了台布接触基板的面积,可以有效降低基板划伤的发生率;2、减少了更换台布的时间,更换台布更加方便,提高了工作效率;3、不影响工艺的稳定性;4、减少气路,节约压缩空气。 | ||
搜索关键词: | 研磨机 工作台 | ||
【主权项】:
一种研磨机工作台,包括位于工作台两侧的台条(1),在所述的台条(1)上粘贴导电台布,其特征在于:在两侧的台条(1)之间设置至少三个支撑板(4),支撑板(4)顶端为圆弧状,且支撑板(4)顶部也粘贴导电台布。
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