[实用新型]电容式微硅麦克风

摘要

本实用新型涉及一种电容式微硅麦克风，属于微电子机械系统领域，包括具有正面和背面的衬底、形成在衬底正面的背极板、悬空设置在背极板上的振动体、以及形成在振动体和背极板之间的腔体，衬底包括自背面朝正面凹陷以露出背极板的背腔，振动体和背极板之间设置有用以支撑振动体的密封环，腔体由密封环、振动体和背极板围设形成，振动体上开设有若干阻尼孔，阻尼孔将腔体与外部连通，该麦克风具有良好的低频性能和灵敏度。

主权项

一种电容式微硅麦克风，包括具有正面和背面的衬底、形成在所述衬底正面的背极板、悬空设置在所述背极板上的振动体、以及形成在振动体和背极板之间的腔体，所述衬底包括自所述背面朝正面凹陷以露出所述背极板的背腔，其特征在于：所述振动体和背极板之间设置有用以支撑振动体的密封环，所述腔体由所述密封环、振动体和背极板围设形成，所述振动体上开设有若干阻尼孔，所述阻尼孔将所述腔体与外部连通。