[实用新型]一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置有效
申请号: | 201320048271.5 | 申请日: | 2013-01-29 |
公开(公告)号: | CN203101711U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | 朱军平;刘挺 | 申请(专利权)人: | 苏州舜新仪器有限公司 |
主分类号: | G02B7/28 | 分类号: | G02B7/28;G01J1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215104 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置,包括激光器,所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直角棱镜,所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上,所述第一直角棱镜和第二直角棱镜设置于同一对角线上,从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头。通过用带预置位功能的电动镜头作激光聚焦的光学元件,满足人为操作不允许的环境下的自聚焦要求,提高激光聚焦动作的效率和准确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 外差 干涉 测量 光束 自聚焦 装置 | ||
【主权项】:
一种激光外差干涉测量光束的自聚焦装置,包括激光器,所述激光器的光束射出端设置有对角设置的第一分光棱镜、第二分光棱镜和第一直角棱镜、第二直接棱镜,所述第一分光棱镜和第二分光棱镜设置于同一对角线上,所述第一直角棱镜和第二直接棱镜设置于同一对角线上,所述第一直角棱镜与第二分光棱镜之间设置有声光调制器,所述第二分光棱镜连接有预置位电动镜头,从所述第二分光棱镜出射的测量激光束穿过预置位电动镜头到达被测物,从所述第二分光棱镜出射的参考光束与从被测物反射回的测量光束混频后到达所述光电探测器,其特征在于,所述光电探测器和所述预置位电动镜头连接有嵌入式装置。
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