[实用新型]一种可重复使用的LED外延磊晶衬底有效
申请号: | 201320062160.X | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN203065632U | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 庄文荣;孙明 | 申请(专利权)人: | 江苏汉莱科技有限公司 |
主分类号: | C30B23/02 | 分类号: | C30B23/02;C30B29/40;H01L33/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可重复使用的LED外延磊晶衬底,属于LED技术领域。所述的外延磊晶衬底为三合一复合衬底,有蓝宝石衬底、氮化铝、氮化镓构成,第一衬底层为蓝宝石衬底,第二衬底层为在PVD内生长的氮化铝层,第三衬底层为在HVPE内生长的氮化镓层。 | ||
搜索关键词: | 一种 重复使用 led 外延 衬底 | ||
【主权项】:
一种可重复使用的LED外延磊晶衬底,其特征在于所述的衬底为三合一复合衬底。
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