[实用新型]一种制备纳米薄膜的化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种制备纳米薄膜的化学气相沉积设备，所述设备包括沉积室以及与所述沉积室相连的供气装置和抽真空装置，所述沉积室上设有多个进气口，各个进气口通过角阀与所述供气装置连通，其中，所述沉积室包括：下部腔体和可拆卸的上部腔体，所述上部腔体与下部腔体通过卡环加氟橡胶圈密封；支架，所述支架从所述沉积室的下部腔体延伸至上部腔体，并且在所述支架上设有基片加热装置。本实用新型具备体积小，构造简单、造价低廉的优点，可制备如石墨烯、过镀金属硫化物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜，有助于实现二维纳米薄膜的生产，促进二维纳米薄膜的应用。

主权项

一种制备纳米薄膜的化学气相沉积设备，其特征在于，所述设备包括沉积室以及与所述沉积室相连的供气装置和抽真空装置，所述沉积室上设有多个进气口，各个进气口通过角阀与所述供气装置连通，其中，所述沉积室包括：下部腔体和可拆卸的上部腔体，所述上部腔体与下部腔体通过卡环加氟橡胶圈密封；支架，所述支架从所述沉积室的下部腔体延伸至上部腔体，并且在所述支架上设有基片加热装置。