[实用新型]一种垂直大位移MEMS微镜有效
| 申请号： | 201320065096.0 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN203164512U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 丁金玲;谢会开;陈巧 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种垂直大位移MEMS微镜，包括微镜边框（1）、镜体（2）和驱动臂（3），镜体（2）边缘通过驱动臂（3）与微镜边框（1）相连接；所述驱动臂（3）包括两根直梁（4）和与之相对应的三个双层膜Bimorph结构连接件（5），双层膜Bimorph结构连接件（5）上设置数个加热电阻（7）；驱动臂（3）上还设置有与加热电阻（7）相连接的第一导电走线；本实用新型设计的垂直大位移MEMS微镜使镜体（2）相对于微镜边框（1），处于垂直大位移的位置，能够扩大镜体（2）的运动轨迹，提高MEMS微镜的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 位移 mems 微镜 | ||
【主权项】：
一种垂直大位移MEMS微镜，包括微镜边框（1）、镜体（2）和驱动臂（3），镜体（2）边缘通过驱动臂（3）与微镜边框（1）相连接，驱动臂（3）上设置有第一导电走线，其特征在于：所述驱动臂（3）包括两根直梁（4）和与之相对应的三个双层膜Bimorph结构连接件（5），双层膜Bimorph结构连接件（5）上设置数个加热电阻（7），第一导电走线与加热电阻（7）相连接；各根直梁（4）之间、直梁（4）与微镜边框（1）之间、直梁（4）与镜体（2）边缘之间均通过双层膜Bimorph结构连接件（5）进行连接，使镜体（2）相对于微镜边框（1）处于垂直大位移的位置。
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