[实用新型]用于纳米厚度薄膜动态观测的偏振光显微系统有效

专利信息
申请号: 201320066316.1 申请日: 2013-02-05
公开(公告)号: CN203116699U 公开(公告)日: 2013-08-07
发明(设计)人: 刘卿卿 申请(专利权)人: 南京信息工程大学
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人: 顾进
地址: 210044 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开的用于纳米厚度薄膜动态观测的偏振光显微系统,包括平行光源、起偏器、1/4波片、半透半反镜、精密电动平台、垂直物镜、自动载物台、检偏器、CCD相机和计算机,起偏器、1/4波片以及半透半反镜沿出射方向顺次设置在平行光源的前方,同时半透半反镜向平行光源倾斜并且与水平方向成45度,起偏器、1/4波片以及平行光源均竖直设置在水平设置的精密电动平台上,垂直物镜以及自动载物台均水平设置在半透半反镜的正下方,检偏器和CCD相机均水平设置在半透半反镜的正上方,CCD相机的光轴、半透半反镜的竖直光轴、垂直物镜的光轴重合。本实用新型系统结构简单,无需扫描,动态测量效果好,便于后期处理。
搜索关键词: 用于 纳米 厚度 薄膜 动态 观测 偏振光 显微 系统
【主权项】:
用于纳米厚度薄膜动态观测的偏振光显微系统,其特征在于:包括平行光源、起偏器、1/4波片、半透半反镜、精密电动平台、垂直物镜、自动载物台、检偏器、CCD相机和计算机,所述起偏器、1/4波片以及半透半反镜沿出射方向顺次设置在平行光源的前方,同时半透半反镜向平行光源倾斜并且与水平方向成45度,所述起偏器、1/4波片以及平行光源均竖直设置在水平设置的精密电动平台上,所述垂直物镜以及自动载物台均水平设置在半透半反镜的正下方,所述检偏器和CCD相机均水平设置在半透半反镜的正上方,所述CCD相机的光轴、半透半反镜的竖直光轴、垂直物镜的光轴重合,所述平行光源、起偏器以及1/4波片的光轴偏离与半透半反镜的光轴重合的主光轴,所述CCD相机、自动载物台以及精密电动平台均连接到计算机。
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