[实用新型]一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置有效
| 申请号： | 201320079916.1 | 申请日： | 2013-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203144557U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 祁志国;曾向鑫;万永;肖益波;李忠平;朱红娣 | 申请（专利权）人： | 无锡开日能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C30B11/00 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置，其可以确保热场内部温度变化的均匀性，且可以控制温度变化和热流量大小，可以确保高质量晶体的生长。其包括外炉壳，所述外炉壳内布置有坩埚、隔热笼、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加热器、四周加热器均位于所述隔热笼所形成的腔体内，所述顶部加热器位于所述坩埚的上方，所述四周加热器分别位于所述坩埚的四周，所述隔热笼开有豁口，所述豁口位置设置有底部活动保温板，其特征在于：所述坩埚的底部支承于气体冷却垫块的上端面，所述气体冷却垫块的内部设计有气路，所述气体冷却垫块的气路外接有两根通气管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 设备 双向 强化 气体 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种晶体生长设备中双向强化气体冷却装置，其包括外炉壳，所述外炉壳内布置有坩埚、隔热笼、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加热器、四周加热器均位于所述隔热笼所形成的腔体内，所述顶部加热器位于所述坩埚的上方，所述四周加热器分别位于所述坩埚的四周，所述隔热笼开有豁口，所述豁口位置设置有底部活动保温板，其特征在于：所述坩埚的底部支承于气体冷却垫块的上端面，所述气体冷却垫块的内部设计有气路，所述气体冷却垫块的气路外接有两根通气管，两根所述通气管、外部的换热器、气体冷却垫块的气路、增压泵形成闭合循环通路，其中一根所述通气管外接有流量传感器、压力传感器，所述气体冷却垫块位于所述底部活动保温板的正上方。
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