[实用新型]紫外光掩模板检测系统有效
| 申请号： | 201320080236.1 | 申请日： | 2013-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203069526U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 刘海龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种紫外光掩模板检测系统，该系统包括：设备机架、构台、图像采集装置、发光装置和感光装置，所述设备机架两侧设置有机架导轨，所述构台底端两侧与所述机架导轨滑动连接，所述发光装置和感光装置对应设置在所述构台上，所述图像采集装置设置在所述构台两侧。采用本实用新型的紫外光掩模板检测系统，无需人员对紫外光掩模板检测，降低了对检测人员的危害，提高了紫外光掩模板检测的准确率和精确度，检验范围内无死角，并且避免了人工方式检查对紫外光掩模板造成的伤害，提高了紫外光掩模板检测的效率，大大降低了成本和时间。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 模板 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种紫外光掩模板检测系统，其特征在于，该系统包括：设备机架、构台、图像采集装置、感光处理系统和处理控制器，所述构台位于所述设备机架上端并与所述设备机架滑动连接，所述图像采集装置和感光处理系统设置在所述构台上。
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