[实用新型]多级驱动电渗微泵装置

摘要

本实用新型公开了一种多级驱动电渗微泵装置，包括集成在微流控芯片上的流体微流道和电极微流道，流体微流道连接所泵送流体的微流道进口或出口，或为微流道的一部分；电极微流道对称分布在流体微流道的两侧，其内部填充液态金属，形成微电极，电极微流道具有液态金属注射入口和出口，入口和出口分别连接可控电源模块，以在流体微流道的泵区微流道驱动段的两端分别形成高电势和低电势；流体微流道包括一根或两根平行设置的流道，一根流道由多段泵区微流道驱动段串联组成，两根流道之间连通多段相互平行且并联设置的泵区微流道驱动段。本装置电极结构简单、可控性好、稳定性高、抗干扰能力强、低电压驱动；并且，驱动段增加，能够实现高流量微泵。

主权项

一种多级驱动电渗微泵装置，其特征在于，包括：集成在微流控芯片上且互不接触的流体微流道（1）和电极微流道（2），所述流体微流道（1）用于连接所泵送流体的微流道进口或出口，或为泵送流体的微流道的一部分；所述电极微流道（2）对称分布在所述流体微流道（1）的两侧，其内部填充液态金属，形成微电极，所述电极微流道（2）具有液态金属注射入口（4）和液态金属注射出口（5），所述液态金属注射入口（4）和液态金属注射出口（5）分别连接可控电源模块（3），以在所述流体微流道（1）的泵区微流道驱动段（7）的两端分别形成高电势和低电势；所述流体微流道（1）包括一根或两根平行设置的流道，当其包括一根流道时，该流道由多段泵区微流道驱动段（7）串联组成；当其包括两根流道时，两根流道之间连通多段相互平行且并联设置的泵区微流道驱动段（7）。