[实用新型]一种消除阴极背面辉光放电装置有效
| 申请号： | 201320087855.3 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN203159700U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 徐根保;钱宝铎;徐学东;金克武 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种消除阴极背面辉光放电装置，包括阴极背板（1），其特征在于：在阴极背板（1）上设有绝缘板（2）。本实用新型的优点：本实用新型提供的装置不仅可以解决平面阴极全部放置在腔体内，不会发生背板辉光放电的问题，而且可以应用到旋转阴极中，解决相同的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 阴极 背面 辉光 放电 装置 | ||
【主权项】：
一种消除阴极背面辉光放电装置，包括阴极背板（1），其特征在于：在阴极背板（1）上设有绝缘板（2），绝缘板（2）将阴极背板（1）的一个面完全覆盖。
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