[实用新型]激光加工装置

摘要

提供一种不管多个图案部的配置如何均能够正确地进行激光加工的激光加工装置。具备：载物台，其载置基板；载物台控制部，其控制载物台的移动并使载物台移动至要进行修正处理的缺陷修正位置；匹配部，其将在缺陷修正位置拍摄得到的摄像图像与作为正常的图案的参照图像进行比较；掩模生成部，其根据参照图像生成多个掩模图像，使其图案的整体与参照图像的图案相同，其中，在该掩模图像中，将照射激光的区域设为照射部而将其它部分即不照射激光的区域设为非照射部；以及光束整形单元，其将激光的光束截面形状整形为与掩模图像相应的形状，其中，掩模生成部在掩模图像内具有多个照射部的情况下，以各照射部间的距离为规定距离以上的方式生成掩模图像。

主权项

一种激光加工装置，对形成有规定图案的基板照射激光来对上述基板上的缺陷进行修正处理，该激光加工装置的特征在于，具备： 载物台，其载置上述基板，并且能够相对于摄像部相对移动，该摄像部用于获取将该基板的一部分放大的图像； 载物台控制部，其控制上述载物台的移动，并且使上述载物台移动至要进行上述修正处理的缺陷修正位置； 匹配部，其将摄像图像与作为正常的图案的参照图像进行比较，该摄像图像是在通过由上述载物台控制部控制的载物台移动而移动到的上述缺陷修正位置处拍摄得到的图像； 掩模生成部，其基于上述匹配部的判断，根据上述参照图像，生成整体的图案与上述参照图像的图案相同的多个掩模图像，在各掩模图像中，将照射激光的区域设为照射部，将其它部分即不照射激光的区域设为非照射部；以及 光束整形单元，其将来自激光源的激光的光束截面形状整形为与上述掩模图像相应的形状， 其中，在上述掩模图像内具有多个上述照射部的情况下，上述掩模生成部以各照射部间的距离大于等于规定距离的方式生成掩模图像。