[实用新型]一种硅片精洗装置有效
| 申请号： | 201320088524.1 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN203155612U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 沈翼翔 | 申请（专利权）人： | 上海艾力克新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201401 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片精洗装置，所述装置包括上料部件、传送部件、清洗部件、卸料部件，本实用新型在现有硅片清洗设备加设了精洗装置，使得硅片中的金属离子一次性去除，节省了后续工作，从而提高了生产效率，降低了生产成本，本实用新型结构简单，成本低，效果明显，有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片精洗装置，其特征在于，所述装置包括上料部件、传送部件、清洗部件、卸料部件，所述上料部件通过清洗部件与卸料部件连接，所述传送部件设置在上料部件上。
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