[实用新型]用于吹扫硅片表面灰尘的装置有效
| 申请号： | 201320088551.9 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN203155625U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡振华;杨金军 | 申请（专利权）人： | 上海艾力克新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201401 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于吹扫硅片表面灰尘的装置，包括空心铜管，所述空心铜管的两端分别安装有直通，两个直通分别连接气管，两根气管的自由端端部共同接入一个三通，所述三通接入压缩空气输入管，所述压缩空气输入管靠近三通处设有一个节流阀；所述空心铜管上设有若干出气孔。本实用新型能够在印刷前对即要印刷的硅片进行表面粉尘的清扫，达到表面无异物功能，减少网版擦拭次数降低成本，提高硅片的电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 表面 灰尘 装置 | ||
【主权项】：
一种用于吹扫硅片表面灰尘的装置，其特征在于，包括空心铜管，所述空心铜管的两端分别安装有直通，两个直通分别连接气管，两根气管的自由端端部共同接入一个三通，所述三通接入压缩空气输入管，所述压缩空气输入管靠近三通处设有一个节流阀；所述空心铜管上设有若干出气孔。
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