[实用新型]一种多磁场结构适应性控制磁场组装置有效
| 申请号： | 201320090904.9 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN203065569U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 325035 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜与涂层制备技术领域，具体地说是一种多磁场结构适应性控制磁场组装置。多磁场结构适应性控制磁场组装置由双层水冷法兰套和多磁场结构控制磁场组构成，法兰套的外侧设有法兰套绝缘套，法兰套绝缘套的外侧设有多磁场结构控制磁场组；多磁场结构控制磁场组单独或耦合设有二极旋转横向磁场发生装置、单个或两个以上轴向形成梯度或均匀的轴向磁场的磁场发生装置、同轴聚焦磁场磁轭。本实用新型采用多磁场结构适应性控制磁场组，提供多种弧斑控制磁场模式，既满足靶面附近的弧斑磁场状态，改善弧斑放电形式，降低功率密度、减少大颗粒发射，又保证等离子体传输空间的磁场分布，提高等离子体的传输效率和传输均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 结构 适应性 控制 组装 | ||
【主权项】：
一种多磁场结构适应性控制磁场组装置，其特征在于，由双层水冷法兰套和多磁场结构控制磁场组构成，法兰套的外侧设有法兰套绝缘套，法兰套绝缘套的外侧设有多磁场结构控制磁场组；多磁场结构控制磁场组单独或耦合设有二极旋转横向磁场发生装置、单个或两个以上轴向形成梯度或均匀的轴向磁场的磁场发生装置、同轴聚焦磁场磁轭。
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