[实用新型]一种气体分流面板

摘要

本实用新型提供了一种气体分流面板，用于有机分子束沉积，所述气体分流面板为圆形，所述气体分流面板上设有若干通孔，若干所述通孔形成若干与所述气体分流面板同心的通孔圈，若干所述通孔圈的通孔的数量沿所述气体分流面板的径向向外递增。本实用新型通过将若干通孔呈圈状排列，形成若干通孔圈，以适应沉积设备中气体从中心向外扩散的气流分布方式，进而使得晶圆表面的沉积的效果更佳，沉积的厚度相对均匀了，同时，通过将通孔圈内的通孔数量沿所述气体分流面板的径向向外递增实现沉积的厚度分布更加均匀。提供了一种能够实现沉积厚度均匀的气体分流面板。

主权项

一种气体分流面板，用于有机分子束沉积，所述气体分流面板为圆形，所述气体分流面板上设有若干通孔，其特征在于：若干所述通孔形成若干与所述气体分流面板同心的通孔圈，若干所述通孔圈的通孔的数量沿所述气体分流面板的径向向外递增。