[实用新型]一种具有辅助开口的掩模板有效
| 申请号： | 201320094230.X | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN203159696U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世珎;刘学明 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模板主体，所述掩模板主体上有掩模图案，所述掩模图案由掩模开口组成；辅助开口图案，所述辅助开口图案由辅助开口构成，所述辅助开口位于所述掩模板主体上，并分布在所述掩模图案两侧，所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。通过设置辅助开口，使绷网后的掩模板的掩模区域受力均衡，避免了因绷网后掩模区域边缘处开口间狭长金属丝因受力过小，产生下垂，而导致开口精度不高的缺陷，提高开口精度，从而提高蒸镀质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 辅助 开口 模板 | ||
【主权项】：
一种具有辅助开口的掩模板，其特征在于,包括：掩模板主体，所述掩模板主体上有掩模图案，所述掩模图案由掩模开口组成；辅助开口图案，所述辅助开口图案由辅助开口构成，所述辅助开口位于所述掩模板主体上，并分布在所述掩模图案两侧，所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。
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